Порошок дисилицида вольфрама

Описание порошка дисилицида вольфрама

Силицид вольфрама (WSi2) — неорганическое соединение, силицид вольфрама. Это электропроводный керамический материал.

Порошок силицида вольфрама обычно сразу же доступен в большинстве объемов. Могут быть рассмотрены формы сверхвысокой чистоты, высокой чистоты, субмикронные и нанопорошки.

Силицид вольфрама используется в микроэлектронике в качестве контактного материала с удельным сопротивлением 60–80 мкОм·см; он формируется при 1000 градусов. Его часто используют в качестве шунта над поликремниевыми линиями для увеличения их проводимости и увеличения скорости передачи сигнала. Слои силицида вольфрама могут быть получены химическим осаждением из паровой фазы, например, с использованием моносилана или дихлорсилана с гексафторидом вольфрама в качестве исходных газов. Осажденная пленка не является-стехиометрической и требует отжига для преобразования в более проводящую стехиометрическую форму. Силицид вольфрама является заменой более ранним вольфрамовым пленкам. Силицид вольфрама также используется в качестве барьерного слоя между кремнием и другими металлами, например вольфрамом.

Силицид вольфрама также имеет ценность для использования в микроэлектромеханических системах, где он в основном применяется в виде тонких пленок для изготовления микросхем. Для таких целей пленки силицида вольфрама могут подвергаться плазменному -травлению с использованием, например, газообразного трифторида азота.

WSi2 хорошо зарекомендовал себя в качестве -стойких к окислению покрытий. В частности, по аналогии с дисилицидом молибдена, MoSi2, высокая излучательная способность дисилицида вольфрама делает этот материал привлекательным для высокотемпературного радиационного охлаждения с применением в теплозащитных экранах.

Применение порошка дисилицида вольфрама и смежные отрасли

● Материал контактов в микроэлектронике

● Шунтируйте линии из поликремния, чтобы увеличить их проводимость и увеличить скорость передачи сигнала.

● Химическое осаждение из паровой фазы

● Замена более ранних вольфрамовых пленок

● Барьерный слой между кремнием и другими металлами (например, вольфрамом)

● Микроэлектромеханические системы

● Покрытия,-стойкие к окислению.

● Пленки с-плазменным травлением

● Исследования и лаборатории

● Материаловедение

● Осаждение тонкой пленки

● Покрытие

Химические идентификаторы

Свойства дисилицида вольфрама (теоретические)

горячая этикетка : порошок дисилицида вольфрама, Китай, поставщики, купить, продать, производство Китай